無塵車間工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產業(yè),在電子信息、半導體、光電子、精密制造、、制藥、手術室、化學、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用,特別是以微電子、化學、航空航天為代表的行業(yè),對于室內環(huán)境的要求。室內生產環(huán)境是制約工業(yè)生產,特別是高科技生產能否進行的關鍵因素之一。那么常見的無塵車間類型有哪幾種呢?一起來了解一下。
一、無塵車間層流式
此種方式是根據空氣氣流運動成均勻的直線型,空氣由覆蓋率的過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于無塵車間等級需定較高的環(huán)境使用,一般其無塵車間等級為Class1——100。
其型式可分為二種:
1.垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高的潔凈度,在生產過程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
2.水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
二、無塵車間亂流式
此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。此型式適用于無塵車間等級1000-100000級。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。
優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,無塵車間的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,欲達需求的潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
三、無塵車間復合式
此種方式是將亂流式及層流式合并使用,可提供局部超潔凈的空氣。
1.裝局部無塵車間:將廣州無塵車間等級10000——100000的亂流無塵車間內的產品生產區(qū)潔凈度等級提高為10——1000級以上,以便滿足生產條件;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
2.凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
3.凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將生產區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。此類型需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。